[00046129]超声波电机驱动主从结构电感传感器校准方法与装置
联系人： 哈尔滨工业大学
所在地： 黑龙江哈尔滨市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
摘要：超声波电机驱动主从结构电感传感器校准方法与装置属于精密测量技术领域。其校准方法与装置以三光轴激光干涉仪作为运动基准，超声波电机作为驱动元件，驱动主动双V型槽导轨，主动双V型槽导轨与从动气浮导轨通过柔性铰链相连，驱动从动气浮导轨做直线运动，直线光栅尺作为反馈元件进行大行程、精定位。利用三光轴激光干涉仪补偿位移传递机构运动的俯仰与偏航误差；本发明可以有效解决位移传感器校准装置行程与精度之间的矛盾，实现大行程、高精度电感位移传感器的动静态校准。
