[00046130]双气浮导轨导向的电感传感器校准方法与装置
联系人： 哈尔滨工业大学
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技术详细介绍
摘要：双气浮导轨导向的电感传感器校准方法与装置属于精密测量技术领域。其校准方法与装置以双频激光干涉仪作为运动基准，直线音圈电机作为驱动元件，气浮导轨作为导向元件，直线光栅尺作为反馈元件进行大行程、精定位。利用四个电容位移传感器补偿位移传递机构运动的俯仰与偏航误差；本发明可以有效解决位移传感器校准装置行程与精度之间的矛盾，实现大行程、高精度电感位移传感器的动静态校准。
