[00046131]洛伦兹力电机直驱式电感传感器校准方法与装置
联系人： 哈尔滨工业大学
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技术详细介绍
摘要：洛伦兹力电机直驱式电感传感器校准方法与装置属于精密测量技术领域。其校准方法与装置以双频激光干涉仪作为运动基准，音圈电机作为宏动驱动元件，气浮导轨作为宏动导向元件，电容传感器与双频激光干涉仪作为宏动反馈元件进行宏动粗定位；采用压电陶瓷位移台进行微动定位，补偿宏动定位误差。利用四个电容传感器补偿宏微定位平台运动的俯仰与偏航误差；本发明可以有效解决位移传感器校准装置行程与精度之间的矛盾，实现大行程、高精度电感位移传感器的动静态校准。
