[00046142]一种测量自由曲面面型的装置和方法
联系人： 哈尔滨工业大学
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技术详细介绍
摘要：一种测量自由曲面面型的装置和方法属于光学显微成像领域；该装置包括：待测样品、电致发光薄膜和正负微电极、物镜、滤光片、管镜、分光镜、第一CCD、第二CCD、光学成像测量部分组成，该方法通过在样品表面镀电致发光荧光介质膜，通电后样品表面被点亮，结合光学探测光路即可实现自由曲面面型的测量，通过电致发光来代替传统的光学照明，避免了由于照明孔径带来的大曲率部分不可测的问题，使用第一CCD、第二CCD进行差动探测，可以提高系统信噪比，从而测量法线与轴向夹角大的样品表面形貌。
