[00046151]三维超分辨共焦阵列扫描显微探测方法及装置
联系人： 哈尔滨工业大学
所在地： 黑龙江哈尔滨市
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技术详细介绍
摘要：一种光学阵列共焦超分辨显微三维探测装置，所述装置包括位于光学系统的中心光轴上依次排列的点光源，准直透镜，微透镜阵列及针孔阵列，扩束透镜、偏振分光镜，1/4波片，二元光瞳滤波器，物镜，载物台，收集透镜，探测针孔阵列及面阵CCD。点光源通过准直透镜形成平行光入射到微透镜阵列上，再经针孔阵列在扩束透镜焦平面上形成点光源阵列，经偏振分光镜及1/4波片，形成偏振光，再经二元光瞳滤波器和物镜照射到被测物表面。经被测物表面反射，按原光路返回，反射光经偏振分光镜后，被全部反射到收集透镜上，经针孔阵列最后到达面阵CCD上，由面阵CCD对信号进行采集。本发明还包含一种使用一个探测器探测和测量三维表面和三维结构的方法。
