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摘要:基于三光纤共球耦合的微测量力瞄准传感器属于精密仪器制造及测量技术;该传感器包括激光器、扩束准直镜、光纤耦合透镜、导管、显微物镜b、CCD相机b、显微物镜a、CCD相机a、计算机和由入射光纤、耦合器、出射光纤a、出射光纤b组成的探针,耦合器作为探针的触点,光束经入射光纤导入耦合器后分别由出射光纤a和出射光纤b导出,导出光束分别经显微物镜a、显微物镜b进入CCD相机a、CCD相机b,通过图像处理技术即可得到两束出射光束分别在CCD上形成的光斑能量中心位置,由CCD相机上光斑能量中心位置与传感器触测点在空间位置的一一对应关系即可得出传感器在空间的瞄准情况;本传感器可测深径比大,具有三维探测能力。