[00046300]一步脉冲激光沉积多层磁光薄膜的方法
联系人： 哈尔滨工业大学
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技术详细介绍
摘要：一步脉冲激光沉积多层磁光薄膜的方法，涉及多层磁光薄膜制备工艺技术领域。它为了解决现有的方法制备的多层磁光薄膜会在薄膜内部形成大量的裂纹和缺陷及制备时间长的问题。充入气体的流量保持在5mTorr-25mTorr，利用脉冲激光沉积法，一步连续沉积两层或三层铁石榴石磁光薄膜，脉冲激光的能量密度为1.5J/cm2-2.5J/cm2，脉冲激光的频率为1Hz-20Hz，在温度为800℃以下及氧气氛下进行快速退火。本发明可用于沉积多层磁光薄膜，实现在光隔离器以及其它非互易光学器件上的集成应用。
