[00046443]磷化锗锌光参量振荡元件的制作方法
联系人： 哈尔滨工业大学
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摘要：磷化锗锌光参量振荡元件的制作方法，它涉及光参量振荡元件的制作方法。本发明是要解决现有的晶体对于3～5μm中红外波段激光输出功率低的问题。方法：测定晶体的晶面、晶向，然后按抽运波矢与晶体光轴的夹角θ及ψ角将晶体切割成晶体坯料，然后粗抛、精抛，再用真空镀膜法在通光面上先镀连接层，再以ZnSe、ZnS、ZnTe、LaF3、YF3或HfF4为膜层材料，镀在1.9μm～2.2μm波长内的反射率R＜1％，在3.5μm～4.8μm波长内的反射率R＜0.3％的增透膜，得到磷化锗锌光参量振荡元件。该元件的损伤阈值大于2.0J/cm2，实现功率十瓦以上的3～5μm中红外激光输出，用于中、远红外激光器中。
