[00046591]伺服式重载荷超精密气囊支撑电动调平系统及其调节方法
联系人： 哈尔滨工业大学
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摘要：伺服式重载荷超精密气囊支撑电动调平系统及其调节方法，属于超精密仪器设备平台技术领域。为了解决目前的动态调平系统对支撑高度很难实现快速高精度的调节的问题。所述电动调平系统包括基座、调平平台、气囊、M组电动支撑高度调节装置、电子水平仪和控制器。调平平台中心通过气囊支撑在基座上，在气囊的周围分布M组电动支撑高度调节装置，调平平台的基准面安装伺服式电子水平仪，控制器根据电子水平测得数据，控制M组电动支撑高度调节装置调节自身的支撑高度，从而实现对调平平台水平度的动态高精度调节。它用于调平平台。
