[00046634]椭球面反射镜远焦点高精度定位装置与方法
联系人： 哈尔滨工业大学
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技术详细介绍
摘要：本发明椭球面反射镜远焦点高精度定位装置与方法属于光学共焦显微技术领域和光学精密测量领域；该装置包括由激光器等光学元件组成的搭接光路，还包括椭球面反射镜等；该方法首先使图像传感器有效成像，然后调整六自由度工作台，获取一系列光斑的强度信息和圆度信息，再将上述信息合并成一个评价函数，建立自由度‑评价函数表，并在表中找到评价函数的极值，以及该极值所对应的自由度，最后根据极值所对应的自由度，调整六自由度工作台，使聚焦物镜的焦点和椭球面反射镜的远焦点重合；本发明充分利用椭球面反射镜双焦点共轭的特殊性质，通过提供一种利用成像光斑信息来定位椭球面反射镜远焦点的技术手段，实现对椭球面反射镜进行精确定位。
