[00046653]一种基于扫频干涉仪的绝对距离动态测量系统及其测量方法
联系人： 哈尔滨工业大学
所在地： 黑龙江哈尔滨市
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摘要：一种基于扫频干涉仪的绝对距离动态测量系统及其测量方法，属于绝对距离动态测量领域。为了解决现有的测量系统在振动影响下测量精度低的问题。本发明的测量系统包括两个部分，一部分进行FSI绝对距离测量，另一部分利用单频激光器加上声光调制器构成额外的一个外差干涉仪对目标的位移进行实时监测，消除了测量路光程变化引入的多普勒效应带来的影响。所述测量方法为利用所述测量系统中1号探测器、2号探测器和平衡探测器探测到的信号，获得的绝对距离：本发明利用2号探测器得到的信号用来校正声光调制器调制频率不稳定引入的误差。
