[00046863]U型精密直线压电驱动器及其激励方法
联系人： 哈尔滨工业大学
所在地： 黑龙江哈尔滨市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
摘要：U型精密直线压电驱动器及其激励方法，属于压电精密驱动技术领域，为了满足微电子制造、纳米制造、航空航天等技术领域对精密驱动提出的大行程、高速、强载、高精度性能的需求。本发明的两个水平布置的换能器相互平行，两个竖直布置的换能器相互对称，竖直布置的换能器的轴线与水平布置的换能器的轴线空间正交；换能器包含外壳、压电叠堆、预紧块、定位销、端盖、输出轴，这种换能器能有效减小载荷直接作用在压电叠堆上的弯矩，起到增大直线动子输出力的作用。本发明能够实现大范围、高速运动的同时兼顾极高的定位精度；具有定位精度高、行程大、输出速度和输出力可调、输出力大等优势。
