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摘要:一种Xe介质毛细管放电检测用光源的主脉冲电源,涉及Xe介质毛细管放电技术。它为了解决常规电源无法满足Xe介质毛细管放电检测用光源的要求的问题。三相交流电源通过一号变压器与初级充电电路连接,初级充电电路采用交流调压的充电电路,初级充电电路为中间储能脉冲形成电路充电,中间储能脉冲形成电路采用储能电容实现,中间储能脉冲形成电路的输出端通过二号变压器将能量传递给脉冲压缩电路,脉冲压缩电路通过磁脉冲压缩网络对脉冲进行压缩陡化,最终在负载上形成所需的脉冲。通过选择磁压缩回路中的电容、电感值,实现与光源等离子体匹配,从而更有效地实现Z箍缩。适合作为13.5nmXe介质毛细管放电检测用光源的电源。