[00046900]多自由度长行程磁悬浮工作台
联系人： 哈尔滨工业大学
所在地： 黑龙江哈尔滨市
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技术详细介绍
摘要：多自由度长行程磁悬浮工作台，涉及一种多自由度长行程磁悬浮工作台。本发明提供了一种适用于真空环境使用的高精度的磁悬浮工作台。该工作台主要由磁悬浮平衡质量框架与多自由度运动单元构成；磁悬浮平衡质量框架主要由平衡质量框架与磁悬浮单元构成，其中磁悬浮单元用于支撑平衡质量框架的定子框架与动子框架，使二者之间没有接触；多自由度运动单元主要由Y向长行程直线电机、X向短行程直线电机以及Z向磁悬浮调整单元构成，其中Y向长行程直线电机、X向短行程直线电机以及Z向磁悬浮调整单元的定子和动子分别与平衡质量框架中的定子框架和动子框架固定连接，用于实现对该动子框架的六自由度运动调整。本发明尤其适用于真空环境使用。
