[00046985]一种柔性低压压敏电阻及制备方法
技术详细介绍
摘要：本发明涉及一种柔性低压压敏电阻及制备方法。现有压敏电阻体积大且不可弯曲，不能应用于柔性可弯曲的设备中。本发明的柔性低压压敏电阻为层状结构，依次包括柔性基板、下电极薄膜、ZnO薄膜和上电极薄膜，上、下电极薄膜表面分别连接有上、下电极引线；所述的柔性基板为PET薄膜，所述的上电极薄膜和下电极薄膜为Pt薄膜。具体制作方法是：在柔性基板一侧表面沉积一层Pt薄膜作为下电极薄膜；通过掩模技术遮挡部分下电极薄膜，在暴露部分沉积一层ZnO薄膜，并压焊下电极引线；在ZnO薄膜上沉积一层Pt薄膜作为上电极薄膜，并压焊上电极引线。本发明方法工艺简单，制作的柔性低压压敏电阻具有独特的柔性、延展性，能够弯曲。
