[00047108]基于嵌入式双芯PCF的MEMS多普勒测速方法和装置
技术详细介绍
摘要：本发明涉及一种基于嵌入式双芯PCF的MEMS多普勒测速方法和装置。本发明提出采用嵌入式双芯光子晶体光纤实现MEMS微通道内微粒速度的测量。利用双芯光子晶体光纤的两个导光纤芯实现传输光路，可以获得两路相干光，完全可以取代传统的两路分离光束方式，使得测量探头和装置实现微型化。并且把双芯光子晶体光纤嵌入到MEMS芯片中，去掉装置不稳定和背景光的干扰。由于光纤出射端面光束的发散角较大，因此可以获得较大的干涉控制体的体积，使测量区域获得放大，提高测量空间范围。
