[00048106]一种平面串联耐高压二极管及其制备方法
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技术详细介绍
一种平面串联耐高压二极管及其制备方法，所述二极管包括：衬底、浅磷扩散层、深硼扩散层、深磷扩散层、氧化隔离层、电极层和电极焊点。本申请提供的一种平面串联耐高压二极管及其制备方法，采用了Si(i)本征材料，增大了底部电阻，降低了结区外的漏电的发生，降低二极管的反向漏电流；并使用了磷隔离环的设计，减小了二极管边缘漏电，也起到了降低了二极管的反向漏电流的作用；在避免互连电极与二极管短路方面，采用了氧化隔离技术设计；结构设计中，每个单体二极管采用了大面积PN区，降低了二极管的正向导通电阻；通过串联结构将2个或多个二极管首尾连接，增大了反向结区电阻，起到了器件反向高耐压的效果。
