[00048571]一种光刻用真空基片夹具
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技术详细介绍
本实用新型公开了一种光刻用真空基片夹具，涉及半导体制备技术领域，包括一个可与基片紧密贴合的真空载物台；载物台内设有N组真空吸附结构；真空吸附结构在载物台平面上的投影面积小于待吸附基片的面积；真空吸附结构包括沿真空载物台厚度方向设置的M个真空孔，真空孔为通孔；相邻的真空孔之间通过设在真空载物台内部的真空槽相连通；载物台底部设有与真空吸附结构配套的N个真空吸盘；真空吸附结构的底部被对应的真空吸盘覆盖；真空吸盘与载物台相接处密封；每个真空吸盘的根部中心设有一根真空管，N个真空管由设在末端的一个共同的真空总开关控制。该基片夹具不仅便于调整基片位置、且能够一机多用，提高夹具利用率、降低成本。
