[00049077]MEMS麦克风及其形成方法
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技术详细介绍
本发明公开了一种MEMS麦克风及其形成方法，通过提供一基底，基底包括第一区域和第二区域，第二区域环绕在第一区域的外围，且所述第一区域与第二区域的交界线包括直线段交界；在基底上形成一牺牲层；在第一区域上的牺牲层上形成一导电极板，且在导电极板中有若干间隔分布的孔，孔露出牺牲层；去除部分牺牲层，使得导电极板悬空设置在第一区域上；形成一接触焊垫，所述接触焊垫沿所述第一区域指向所述第二区域的方向横跨所述直线段交界，且所述接触焊垫位于所述第一区域的部分与所述导电极板相连接。本发明通过改变导电极板的形成方法，得到导电极板仅悬空设置在基底的第一区域上，能够提高MEMS麦克风性能。
