[00049502]一种PVD机台搭接式防护罩
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技术详细介绍
本实用新型公开了一种PVD机台搭接式防护罩，包括内托盘、第二主镀膜托盘、第三主镀膜托盘和第四主镀膜托盘，所述内托盘的顶部安装有四个外托盘，且内托盘顶部靠近外托盘的一侧安装有四个卡板，四个所述卡板的顶部均通过螺栓固定连接有第一主镀膜托盘，所述第一主镀膜托盘的一侧安装有第二镀膜托盘和第三镀膜托盘，所述第三镀膜托盘位于第二镀膜托盘的一侧，所述第二主镀膜托盘的一侧安装有第七镀膜托盘和第八镀膜托盘，所述第八镀膜托盘位于第七镀膜托盘的一侧，所述第三主镀膜托盘的一侧安装有第五镀膜托盘和第十镀膜托盘，本实用新型设置了内托盘、外托盘和卡板，解决了装置容易发生变形，缩短使用寿命的问题。
