[00049743]一种PVD机台用可拆分式防着板结构
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技术详细介绍
本实用新型公开了一种PVD机台用可拆分式防着板结构，包括第一连接板和第二连接板，所述第一连接板的顶部安装有第一上铝板，且第一连接板的底部安装有第一下铝板，所述第一上铝板的一侧安装有第二上铝板，所述第二上铝板相对于第一上铝板的一侧安装有第三上铝板，所述第三上铝板的底部安装与第二连接板固定连接，所述第一下铝板的一侧安装有第二下铝板，所述第二下铝板相对于第一下铝板的一侧安装有第三下铝板，所述第三下铝板的顶部与第二连接板的底端固定连接，本实用新型设置了第一上铝板、第二上铝板、第三上铝板、第一下铝板、第二下铝板和第三下铝板，无需整体进行更换，降低使用成本，降低装置发生形变的变形率。
