[00005388]一种微电子机械双通道微波功率检测系统及其制备方法
技术详细介绍
本发明公开了一种基于微电子机械微波功率传感器的双通道微波功率检测系统及其制备方法，该系统结构非常简单，测量幅度范围大、不消耗直流功率；该系统是以砷化镓为衬底，在衬底上设计有共面波导传输线（A）、热电式MEMS微波功率传感器（B）和MEMS固支梁电容式微波功率传感器（C）：当微波信号功率较小时，由热电式MEMS微波功率传感器来检测，根据热电堆输出电压与微波功率是一一对应的关系；当微波信号功率较大时，由MEMS固支梁电容式微波功率传感器来检测，在共面波导传输线上方的MEMS固支梁设计了一个正方形的质量块，增加了与共面波导传输线的面积，同时增加了MEMS固支梁中心位置的重量，使得静电力更容易引起MEMS固支梁大的形变，提高了系统的灵敏度。
