[00005390]三指交错结构的电容式微波功率传感器
技术详细介绍
本发明公开了一种三指交错结构的电容式微波功率传感器，以砷化镓为衬底，在衬底上设计有共面波导传输线、在线电容式微波功率传感器，在线电容式微波功率传感器包括在衬底上交错地固定着三个MEMS悬臂梁，其中两个MEMS悬臂梁下表面镀有绝缘层氮化硅，中间的MEMS悬臂梁无绝缘层，作为由两个无绝缘层MEMS悬臂梁形成电容的电介质。当微波信号在共面波导传输时，会在无绝缘层的MEMS悬臂梁上产生一个静电力使梁产生位移，而在两个镀有绝缘层的MEMS悬臂梁上产生的静电力不足以使其下拉；引起两个镀有绝缘层的MEMS悬臂梁间形成的电容的介电常数改变，由电容检测电路检测出电容的变化量，从而推出微波信号的功率幅值。
