[00005391]基于悬臂梁级联结构的高精度微波功率检测系统
技术详细介绍
本实用新型公开了一种基于悬臂梁级联结构的高精度微波功率检测系统，该悬臂梁级联结构的高精度微波功率检测系统以砷化镓为衬底，在衬底上设计有共面波导传输线和四个不同长度的MEMS悬臂梁：当待测微波功率较小时，由于静电力较小，只有较长的MEMS悬臂梁臂下拉；当待测微波功率较大时，由于静电力较大，可以使较短的MEMS悬臂梁臂下拉。根据MEMS悬臂梁的电容变化量与微波功率是一一对应的关系，就可以测量出微波信号的功率。本实用新型系统结构简单，测量幅度范围大、不消耗直流功率，且便于集成；不仅可以扩展检测功率的动态范围，而且还可以提高检测功率的精度。
