[00005459]一种电湿活塞式光开关
技术详细介绍
电湿活塞式光开关采用上盖板（1）、平板波导基底（2）、电湿活塞内芯（3）、下盖板（4）结构。其中，平板波导基底（2）上设置网状波导结构（6），波导交叉节点处设有三角形或其它形状的波导节点微液腔（7）；平板波导基底（2）下方的电湿活塞内芯（3）是具有圆锥状或其它形状电湿驱动通孔（8）且设有控制电路（9）的平板，其表面设有导电层、绝缘层和疏水层；下盖板（4）上设有凸起柱（10）和带弹性膜的压强平衡孔（11），与电湿活塞内芯（3）经粘胶（17）胶合后形成弹性液盒，用于存储导电流体（12）和折射率匹配液（13）；在上盖板上设有与波导节点微液腔（7）、电湿驱动通孔（8）一一对应的气穴（5）以提供气室和气压。
