[00005461]电调谐微流控变焦透镜阵列芯片的制作方法
技术详细介绍
一种电调谐微流控变焦透镜阵列芯片的制作方法涉及一种新颖的电调谐微流控变焦透镜阵列芯片的微型化和集成化制作方法，采用管状物体堆积并加热拉制来构成“上盖片(1)+内芯(3)+下盖片(2)”三明治透镜阵列夹心结构的内芯的集成制作。其主要步骤包括：1)内芯管状物体的堆积；2)阵列内芯的拉制；3)电极制作；4)透镜介质封装。本发明将微流控技术与现代光学技术相结合，设计了一种电调谐微流控变焦透镜阵列芯片，具有重要的技术价值。本设计制作方法具有结构简单、制作容易、利于微型化、适于集成的优点。
