[00005474]一种非周期高对比度光栅
技术详细介绍
本发明公开了一种非周期高对比度光栅及其制备方法
光栅结构包括从上到下的氮化物器件层和硅衬底层，顶氮化物器件层上具有光栅器件结构，光栅器件满足相位匹配方程。光栅器件结构为非周期，以空气隙为间隔。氮化物器件层，使用的材料为氮化镓；硅衬底层具有一个贯穿至氮化物器件层下表面的空腔；氮化物器件层为完全悬空的。本发明的光栅聚焦和透射能力强、运用场景丰富、制备工艺简单。
光栅结构包括从上到下的氮化物器件层和硅衬底层，顶氮化物器件层上具有光栅器件结构，光栅器件满足相位匹配方程。光栅器件结构为非周期，以空气隙为间隔。氮化物器件层，使用的材料为氮化镓；硅衬底层具有一个贯穿至氮化物器件层下表面的空腔；氮化物器件层为完全悬空的。本发明的光栅聚焦和透射能力强、运用场景丰富、制备工艺简单。
