[00050184]自动式微尺度气液相分离器
技术详细介绍
摘要：本发明属于微流体控制领域，具体涉及一种自动式微尺度气液相分离器。在半导体硅基片上蚀刻出两条微通道，分别作为气液相进口流道和气相出口流道，两条流道之间由肋条隔开；在微通道的下游、肋条的一侧沿宽度方向蚀刻一排肋柱，肋柱的另一侧为液相出口流道；在气液相进口流道、气相出口流道和液相出口流道上方安装盖板进行封装。本发明克服了传统微尺度相分离器需要对流道材料进行表面处理或增加额外动力来实现相分离的局限，利用流体的惯性力和气液界面的表面张力作用，自动实现气液两相分离效果。该装置结构简单，分离效率高。
