[00050424]基于MEMS的叉指间隙梁结构能量收集器及其制作方法
联系人： 黑龙江大学
所在地： 黑龙江哈尔滨市
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摘要：基于MEMS的叉指间隙梁结构能量收集器及其制作方法。目前，MEMS技术能量回收研究过程中，面临的微米尺度空隙悬臂梁上PZT薄膜制备难题，对实现能量收集器批量化生产存在制约。本发明方法包括：顶层PZT复合膜梁和两个底层支撑硅梁，所述的顶层PZT复合膜梁和底层支撑硅梁的两端分别连接质量块和固定块；其中，所述的顶层PZT复合膜梁包括PZT梁层，以及与所述的PZT梁层的上下层分别连接的上金属电极和下金属电极。本发明用于微电子机械器件。
