[00050524]一种多晶硅铸锭炉热场结构
技术详细介绍
摘要：本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉热场结构，由固定隔热笼、底部隔热板和顶部隔热板所形成的中空炉腔；设置在炉腔中央，用于作为晶体生长的容器的坩埚，其底部通过石墨支撑支撑，石墨支撑底部设置有热交换块；以及中空夹层结构的隔热块，其同轴套装在热交换块的外周，其中隔热块的内壁与热交换块外周壁面具有间隙，外壁固定设置在固定隔热笼内壁上，该隔热块顶部低于热交换块顶部所在平面。本实用新型的热场结构优化了石墨支撑侧壁附近流场及温度场分布，不仅可以降低化料过程能耗，而且可以有效抑制形核初期坩埚底部侧壁附近晶粒的快速生长，可以获得微凸和较为平直的凝固界面，能够降低硅锭内部热应力，减少微观破裂的产生，从而提高定向凝固多晶硅锭质量。
