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[00050553]一种膜片钳芯片微孔加工装置

交易价格: 面议

所属行业: 无机非金属材料

类型: 实用新型专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201120034735.8

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 华中科技大学

进入空间

所在地: 湖北武汉市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述

技术详细介绍

摘要:本实用新型公开了一种膜片钳芯片微孔加工装置,它包括紫外激光器、扩束镜、调节光圈、聚焦镜和玻璃膜片钳芯片夹具,紫外激光器的输出光路上设置扩束镜,扩束镜的输出光路上设置调节光圈,调节光圈的输出光路上设置聚焦镜,聚焦镜的输出光路上设置玻璃膜片钳芯片夹具。本实用新型装置使得聚焦后的紫外激光的高能量在极端的时间内能破坏钳芯片夹具上玻璃材料的分子结构,并在玻璃材料上形成均匀的孔洞;并且,本实用新型还通过计算机数控系统控制紫外激光器和运动控制平台,实现了整个加工流的自动化。

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