[00050560]一种铟镓锌氧化物粉体的制备方法
技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种铟镓锌氧化物粉体的制备方法，其包括如下步骤首先配置镓盐溶液、铟盐溶液和锌盐溶液；然后使用不含碱金属的碱液作为沉淀剂，并采用三步沉淀法分别使所述镓盐溶液、铟盐溶液以及锌盐溶液中的镓离子、铟离子、锌离子在不同pH值下先后沉淀，以制备铟镓锌氧化物前驱体粉体；最后将制备的所述铟镓锌氧化物前驱体粉体经洗涤、过滤、干燥、退火后制成获得高纯单相铟镓锌氧化物粉体InGaZnO4。本发明可制备具有高烧结活性和高纯度的单相InGaZnO4粉体，为制备高质量IGZO靶材提供了优质的原料。
