[00050670]微气泡发生器及其制备方法
技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种微气泡发生器及其制备方法。微气泡发生器包括衬底、两个电极和碳纳米管；两个电极均包含石墨烯，碳纳米管通过石墨烯连接两个电极，碳纳米管用作加热组件。制备方法包括如下步骤：在生长有石墨烯的金属箔表面旋涂PMMA；除去金属箔，将PMMA保护的石墨烯转移至衬底上，热处理使石墨烯与衬底紧密结合；除去PMMA；通过光刻和反应离子刻蚀得到两个石墨烯电极；在衬底上覆盖Cu2O纳米粒子，用Cu2O纳米粒子作催化剂，碳氢化合物作碳源，采用低压CVD工艺，在800～950℃下，生长与石墨烯电极垂直的水平定向碳纳米管。本发明降低了微气泡发生器的功耗，有效延长了微气泡发生器的寿命，且器件结构简单，设计灵活，具有良好的高频响应和密集集成潜力。
