[00050967]一种半导体激光束的菲涅尔聚焦装置
技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种半导体激光束的菲涅尔聚焦装置，包括菲涅尔透镜和柱面镜，菲涅尔透镜的一面有多个平行排列的楞，多个楞对半导体激光束的波前进行分割，经过每个楞输出的激光束角度不同，实现不同区域的光束经过菲涅尔透镜后在同一处叠加，使菲涅尔透镜输出均匀且在慢轴方向聚焦的光斑，柱面镜对入射光进行快轴方向聚焦，输出均匀的矩形光斑，解决了传统聚焦装置无法兼顾光斑尺寸和光斑均匀性的问题。在激光表面改性过程中，由本发明提供的菲涅尔聚焦装置输出的激光光斑的尺寸能够更好地跟工件作用区域相匹配，可以有效降低温度梯度所带来的受热不均匀性问题，提高加工质量和效率。
