[00051057]一种像素单元及其构成的红外成像探测器
技术详细介绍
摘要：本实用新型公开一种像素单元以及由此像素单元构成的红外成像探测器。该像素单元包括由下至上的依次设置的支撑层、键合层、介质层、光敏单元层、读出电路层以及微透镜层，所述读出电路层和光敏单元层位于硅衬底的同一面，所述微透镜层位于硅衬底的另一面，所述光敏单元为由导电金属或半导体材料制作的纳结构，并位于像素单元中心，所述光敏单元被读出电路环绕，且与读出电路互连。该红外成像探测器由呈二维阵列分布的像素单元构成。本实用新型的背面微透镜有助于提高填充因子,进而提高器件的响应率；纳结构光敏单元的热质量很小，可显著提高探测器的响应速度；制备工艺简单，有利于降低成本。
