摘要:本发明公开了一种MoO3/MoS2/LiF柔性异质结太阳能电池及其制备方法。包括聚酰亚胺(PI)柔性衬底、Al背极、MoO3空穴传输层、MoS2电子空穴激发层、LiF电子传输层、石墨烯透明导电层、Al栅极。所述MoO3层采用溶液法低温制备,便于大面积批量生产;MoS2采用CVD法原位硫化形成,同时对MoO3层进行退火,可以减少MoO3空穴传输层与MoS2层之间的界面缺陷,减少了界面污染;热辐射蒸发LiF层,较薄的空穴传输层和电子传输层厚度,一方面减少了串联电阻,另一方面实现了与MoS2、石墨烯等二维层状材料形成良好柔性异质结太阳能电池。MoO3/MoS2/LiF柔性异质结太阳能电池具有低温制备、工艺简单、成本低廉、光电转换效率高、应用范围广等优势。