[00051230]一种椭偏仪系统参数的优化方法
技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种椭偏仪系统参数优化方法，包括首先建立待优化椭偏仪的系统模型，并得到包含椭偏仪系统参数的矩阵W；然后计算椭偏仪系统矩阵W在不同椭偏仪系统参数下的条件数；再次计算出每个椭偏仪系统参数下矩阵W条件数的最大值与最小值的差值，并按差值从大到小顺序排列；最后根据差值的排列顺序，优化每个椭偏仪系统参数，重复n次优化后，选取排列最前的系统参数，求得其n次优化后最小条件数值与第n-1次优化时矩阵W最小条件数值之间的差值，当差值大小满足要求时，则认为第n次优化后的椭偏仪系统参数为当前椭偏仪的最优系统参数。本发明方法过程明确、简单，最优参数的选定标准灵活可变，可以适用于现有不同结构类型的椭偏仪的优化。
