[00051458]一种在金属基材上制备硬磁性氧化物涂层的方法
技术详细介绍
摘要：本发明一种在金属基材上制备硬磁性氧化物涂层的方法，涉及制造应用电—磁或者类似磁效应的器件的方法，步骤是，先用喷雾造粒法制备等离子喷涂用的原料MeFe12O19型铁氧体粉末颗粒，再采用等离子喷涂技术在经过预处理的金属基体材料上喷涂上述粉末颗粒，所达到的硬磁性氧化物涂层厚度为10μm～1mm，然后将喷涂有MeFe12O19硬磁性氧化物涂层的金属基体材料的工件置于800℃～1200℃下退火热处理1h，最后对硬磁性氧化物涂层进行精磨加工，得到在金属基材上喷涂有MeFe12O19硬磁性氧化物涂层的工件，克服了现有技术在金属基材上制得的磁性厚膜的厚度与磁性不能满足微电机械需要微型永磁材料器件要求的缺陷。
