摘要:本实用新型涉及具有温度控制的微区电阻率测量装置,其特征在于该装置包括温度控制单元、电极支架、电极圆盘、电极、测试平台、橡胶垫、单片机控制板、触摸屏、蜂鸣器和报警灯;所述温度控制单元包括外腔和内腔,内腔包裹在外腔内,所述外腔为真空腔,内腔由孔板分成左右两个部分,左部分为温控腔,右部分为恒温腔,温度控制单元的右侧设有密封门,温度控制单元的外表面上设有触摸屏、蜂鸣器和报警灯,在密封门的内表面固定单片机控制板;温控腔的内表面上安装有半导体制冷晶片,在恒温腔内通过温度传感器支架固定安装有温度传感器;所述测试平台固定在恒温腔内,在测试平台的承载平面中心处设置橡胶垫。