摘要:本发明薄膜晶硅钙钛矿异质结太阳电池的制备方法,涉及专门适用于将光能转换为电能的半导体器件,是一种具有电子空穴复合抑制结构层的采用耐高温不透明导电基底的薄膜晶硅钙钛矿异质结太阳电池的制备方法,步骤是:在耐高温不透明导电基底上制备P型晶硅薄膜层;在P型薄膜晶硅上制备电子空穴复合抑制结构层;在电子空穴复合抑制结构层上旋涂钙钛矿光吸收层;在钙钛矿光吸收层上制作由致密二氧化钛构成的电子传输层;在由致密二氧化钛构成的电子传输层上制备顶电极。本发明方法克服了现有技术中的薄膜晶硅钙钛矿异质结太阳电池可能存在的漏电流和内部短路和玻璃基底对后续制备工艺的高温环节的限制的缺陷。