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摘要:本发明公开了一种超声波刻槽推力空气轴承,包括转子、换能器、压电陶瓷片、推力盘、转动盘、电源、PID控制系统和位移传感器,所述压电陶瓷片设置有压电陶瓷片正极和压电陶瓷片负极,所述压电陶瓷片正极与电源正极相连接,所述压电陶瓷片负极与电源负极相连接,所述电源与PID控制系统相连接,所述PID控制系统与位移传感器相连接,所述压电陶瓷片粘贴在换能器的下端面中部,所述推力盘与换能器通过螺栓紧固连接。本发明结合气体动压轴承和超声波轴承结构的优点,在一定程度实现了挤压效应与动压效应的结合,实时调节的超声波轴承挤压效应,显著改善了气膜的弹性力与阻尼力,提高轴承的承载能力和稳定性。