[00053521]一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的装置
联系人： 华南理工大学
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技术详细介绍
摘要：本实用新型涉及一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的装置，包括：将柔性的衬底平铺输送的输送机构，进行沉积反应的沉积箱，与沉积箱相接的溶液加热循环机构，洗刷衬底的滚筒洗刷机构，烘干衬底的烘干装置；所述沉积箱、滚筒洗刷机构和烘干装置沿着衬底的输送方向依次设置。本实用新型具有结构简单、可连续化、批量化生产的优点，属于薄膜太阳能电池制造工艺技术领域。
