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摘要:本发明公开了一种三自由度平面柔性并联平台装置及控制方法,包括三个并联分支、动平台及静平台,每个并联分支包括电机、一根主动杆及一根从动杆,所述主动杆上贴有一维加速度传感器,从动杆上粘贴压电陶瓷片传感器,所述动平台安装三维加速度传感器,所述从动杆的两端贴有第一及第二压电陶瓷片驱动器;电机驱动主动杆,对应的一维及三维加速度传感器,以及从动杆上的压电陶瓷片传感器同时检测振动,均输出微弱的电荷量,经过电荷放大器接入到数据采集卡,通过算法将控制量施加在从动杆上的压电陶瓷片驱动器上,实现对并联平台残余振动主动控制的目的。具有测量精度高和闭环控制响应快的优点。