[00053790]一种超硬碳化硅陶瓷纳米镜面的磨削方法
联系人： 华南理工大学
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技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种超硬碳化硅陶瓷纳米镜面的磨削方法。该方法采用修锐修整后的粗金刚石砂轮沿垂直砂轮切削方向的z轴移动，对工件进行磨削，磨削由砂轮上出刃磨粒连续切削，磨粒切削深度控制在100纳米实现塑性域磨削；完成一次z轴向的磨削后，沿切削方向x－轴移动距离fx后再进行下次磨削时，在工件表面形成高度为he的包络迹，当选择适当的砂轮直径Dw，使得x－轴方向移动fx小于100微米时，包络迹高度he小于15纳米，形成平整、超光滑纳米镜面。本发明可以在微米级或亚微米级精度的机床上利用数控技术实现超精密表面加工，而不需采用昂贵的纳米精度机床。采用较粗金刚石砂轮的镜面磨削具有较大的磨削比，加工效率高，实用性强。
