[00054075]一种工作台运动误差多自由度检测的装置及方法
技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种工作台运动误差多自由度检测的装置及方法，本发明的反射光经过光路调整反射镜反射到固定在工作台上的三面反射镜上，经过三面反射镜的依次反射后，回到光路调整反射镜，并反射到第二分光片上，经第二分光片的反射后进入扩束镜，投射到探测器上；透射光经过第二分光片的透射后，进入扩束镜，投射到探测器上。两束光在探测器上产生干涉，对干涉条纹的形状的调整与相移的测量，能够实现对工作台的偏转与运动位移的测量；本发明可用在对工作台的摇摆角、俯仰角与轴向运动位移的同步实时测量，由此可以通过测量结果进行实时补偿，消除运动误差的影响，从而提高测量精度与制造精度。角度的测量范围在±3mrad范围内，满足工作台的测量要求。
