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摘要:本发明涉及光滤波器件,更具体地,涉及一种表面等离激元光波导滤波器。其包括金属波导,在金属波导中设有用于入射和反射光线进出的通道和用于产生谐振波长的共振腔,通道和共振腔内填充有电介质,通道和共振腔之间设有用于阻碍光波进出的金属间隙。本发明是在金属波导上构造出一个亚波长的滤波器,其结构简单,尺寸小,只有几百纳米,易于高密度的光集成,且其高性能的窄带滤波有助于研制应用于光通信的光开关。而且,本发明滤波的波长可以通过共振腔的几何尺寸或腔内不同折射率的电介质来调节,也就是说通过制造不同几何尺寸的器件或者在器件上填充不同折射率的电介质就可以实现对任何波长的滤波,大大提高了器件的应用范围。