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摘要:本发明提供一种集成电路故障的单光子检测方法及检测系统。检测方法是通过对被测电路施加设定的测试矢量,使得在故障处有信号的变迁,从而导致产生微弱的发光,采用单光子探测器对故障的这种微弱发光进行探测。检测系统包括被测集成电路、光子计数电路模块、信号发生器和微型计算机,微型计算机控制整个系统的工作,通过微型计算机接收光子计数电路模块发送的探测数据,然后对探测数据与测试数据库中的数据进行比较和分析,实现对电路中故障的检测与定位。本发明可以直接对集成电路中的多种类型故障例如固定型故障、桥接故障、信号完整性故障等,进行检测与定位,从而提高电路芯片产品的质量与可靠性。