[00054544]一种在InP衬底上外延生长II型GaSb/InGaAs量子点的方法
联系人： 华南师范大学
所在地： 广东广州市
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摘要：本发明公开了一种II型GaSb/In0.53Ga0.47As量子点超晶格材料及其生长方法，该超晶格材第一层为生长在InP衬底上的In0.53Ga0.47As缓冲层，第二层为GaSb量子点，第三层为In0.53Ga0.47As缓冲层，第四层为GaSb量子点；其生长方法为先在InP衬底表面生长缓冲层后，生长4～5MLGaSb量子点，再生长缓冲层，最后再生长4～5MLGaSb量子点；本发明实现了采用MBE技术在InP衬底上以S-K模式生长获得GaSb/In0.53Ga0.47As量子点，其形貌质量好、光学性能佳；本发明方法有效避免了As-Sb互换，显著降低了晶格失配度和Ga原子迁移。
