[00056009]基于 CT 扫描图像的 MEMS 结构重构与检测方法
技术详细介绍
本发明提出了一种基于 CT 扫描图像的 MEMS 结构的三维 重构与检测方法，以解决现有检测手段检测环境要求高、不能反 应其三维形貌的问题，同时保证了 MEMS 的无损检测。本方法 首先采用工业 CT 技术扫描得到 MEMS 器件的系列图像，然后 进行图像处理并得到其体数据，根据体数据进行表面模型重建， 得到 MEMS 器件的表面三角网格模型。然后对表面模型进行修 复，识别并提取其特征信息将器件模型的不同特征划分为不同的 特征块，最后对划分好的特征块进行拟合，提取特征参数并导出 数据接口文件。通过以上技术手段，实现了 MEMS 结构的三维 尺度结构的准确检测。
