本发明涉及一种基于液滴泰勒锥的微纳电化学沉积加工方 法,属于微纳制造技术领域。本发明的方法是先将含有被沉积 金属离子的液滴置于金属探针与工件之间,探针材料同被沉积 材料;探针和工件均浸没在绝缘介质中,该绝缘介质与水不互 容;探针和工件分别接直流电源的正极和负极;液滴在电场的 作用下在探针与工件之间往复运动;液滴在靠近探针和工件 时,液滴表面在电场的作用下形成泰勒锥,利用液滴泰勒锥与 探针和工件接触时的电化学作用,把金属探针的金属原子变为 金属阳离子进入液滴,再由液滴携带金属阳离子至工件表面, 通过该液滴的泰勒锥把金属阳离子传送至工件表面,金属阳离 子在工件表面得到电子变为原子而沉积,从而实现微纳电化学 沉积加工。