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[00056027]基于液滴泰勒锥的微纳电化学沉积加工方法

交易价格: 面议

所属行业: 专用化学

类型: 发明专利

技术成熟度: 通过小试

专利所属地:中国

专利号:ZL201510875474.5

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人:

进入空间

所在地: 山东青岛

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述

技术详细介绍

本发明涉及一种基于液滴泰勒锥的微纳电化学沉积加工方 法,属于微纳制造技术领域。本发明的方法是先将含有被沉积 金属离子的液滴置于金属探针与工件之间,探针材料同被沉积 材料;探针和工件均浸没在绝缘介质中,该绝缘介质与水不互 容;探针和工件分别接直流电源的正极和负极;液滴在电场的 作用下在探针与工件之间往复运动;液滴在靠近探针和工件 时,液滴表面在电场的作用下形成泰勒锥,利用液滴泰勒锥与 探针和工件接触时的电化学作用,把金属探针的金属原子变为 金属阳离子进入液滴,再由液滴携带金属阳离子至工件表面, 通过该液滴的泰勒锥把金属阳离子传送至工件表面,金属阳离 子在工件表面得到电子变为原子而沉积,从而实现微纳电化学 沉积加工。

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